低壓擴散在晶硅太陽電池中的應用
低壓擴散在晶硅太陽電池中的應用
摘要:
低壓擴散是一種通過改善爐管氣密性、增加真空系統實現的擴散方式，真空系統提供
低壓力氛圍，從而增加三氯氧磷分子平均自由程，提高擴散均勻性、穩定性和成膜致
密性；通過低壓擴散工藝，可以獲得均勻的p-n 結結構，更易實現淺結高方阻擴散工
藝，提升電池轉換效率。同時低壓擴散以其優異的方阻均勻性大大提高單管產能，降
低制造成本。
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