低壓擴(kuò)散在晶硅太陽電池中的應(yīng)用
低壓擴(kuò)散在晶硅太陽電池中的應(yīng)用
摘要:
低壓擴(kuò)散是一種通過改善爐管氣密性、增加真空系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)的擴(kuò)散方式，真空系統(tǒng)提供
低壓力氛圍，從而增加三氯氧磷分子平均自由程，提高擴(kuò)散均勻性、穩(wěn)定性和成膜致
密性；通過低壓擴(kuò)散工藝，可以獲得均勻的p-n 結(jié)結(jié)構(gòu)，更易實(shí)現(xiàn)淺結(jié)高方阻擴(kuò)散工
藝，提升電池轉(zhuǎn)換效率。同時(shí)低壓擴(kuò)散以其優(yōu)異的方阻均勻性大大提高單管產(chǎn)能，降
低制造成本。
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